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              干式真空泵 A4X 系列
              阅读数: 6736

              干式真空泵 A4X 系列

              干式真空泵 A4X 系列
              上海伯东德国 Pfeiffer 干式真空泵 A4X 系列适合半导体、光伏等腐蚀性强的行业,干式真空泵抽速从 160 到 1,700 m3/h 满足不同需求,特殊的耐腐蚀工艺设计保证干式真空泵 A4X 系列使用寿命大幅提高,有效降低了企业成本。

              干式真空泵 A4X 系列核心优势:
              耐腐蚀设计,使用寿命长
              通过 Semi S2-0712 和 UL 61010 标准
              特殊设计,避免真空泵发生爆裂或可冷凝物沉积
              配置氮气吹扫阀,耐粉尘

              干式真空泵 A4X 系列应用
              半导体:(蚀刻、PECVD、SACVD、ALD 等)
              涂料行业:光伏和 LED

              干式真空泵 A4X 系列技术参数:

              型号

              A 124 H

              A 604 H

              A 1204 H

              A 204 H
              A 204 X

              A 804 H
              A 804 X

              A 1504 H
              A 1504 X

              A 1804 H
              A 1804 X

              抽速 m3/h

              110

              560

              1150

              160

              700

              1200

              1700

              极限真空
              (氮气吹扫阀关闭) hPa

              2X10-2

              2X10-4

              9X10-4

              5X10-2

              2X10-3

              2X10-3

              2X10-3

              极限真空
              (氮气吹扫阀50 SLM) hPa

              5X10-2

              6X10-3

              6X10-3

              2X10-1

              9X10-3

              9X10-3

              9X10-3

              全转速最大进气气流 SLM

              80

              60

              55

              150

              100

              100

              70

              最大功率 KW

              1.5

              1.9

              2.3

              1.8

              2.2

              2.6

              2.6

              最大排气压力hPa

              1200

              1200

              1200

              1200

              1200

              1200

              1200

              进气口 ISO-KF

              DN 50

              DN 100

              DN 160

              DN 50

              DN 100

              DN 160

              DN 160

              重量 kg

              250

              370

              530

              260

              380

              540

              540

               

              干式真空泵 A4X 系列抽速:
              上海伯东干式真空泵 Adixen

              上海伯东 Adixen 干式真空泵


               

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