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              镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220
              阅读数: 4762

              镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220

              镀膜工艺气体分析仪 SPM 220
              上海伯东德国普发 Pfeiffer 真空镀膜工艺监测器 SPM 220 为镀膜工艺的定性和定量气体分析提供了完美的解决方案. 搭配 HiPace 涡轮分子泵组和专门开发的镀膜工艺监测器离子源, 在高达 10-2 hPa 的压力下, 实现了精确到分钟的工艺气体分析. Pfeiffer 同时提供一个带有压差孔板法兰的型号供选择, 可以实现在高达 10 hPa 的压力范围里进行直接的工艺气体分析.

              镀膜工艺气体分析仪 SPM 220 优势
              用于瞬时过程监测的镀膜工艺监测器离子源
              用于 H2, O2, H2O 和 CO2 的优秀检测限
              对测量结果的最小化背景影响
              提供压力高达 10 hPa 的压差型号
              多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估
              灵活集成的紧凑尺寸
              通过各种数字和模拟输入和输出, 使系统集成方便而灵活

              镀膜工艺气体分析仪 SPM 220 应用
              半导体生产,玻璃镀膜, 薄膜太阳能电池发电,研发

              镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220 组成:涡轮分子泵+四级杆质谱+离子源
              Pfeiffer 普发镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220

              镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220 优势:
              镀膜工艺监测器离子源,适用于瞬时过程监测
              对气体H2、O2、H2O 和 CO2 优秀检测极限
              对测量结果的最小化背景影响
              压力高达 10 hPa 的压差版本
              多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估
              紧凑设计,易于系统集成
              通过各种数字和模拟输入和输出
              Pfeiffer监测质谱 SPM 220 技术参数:

              SPM 系统控制

              BRU 220

              电压

              115-230 V

              前级泵

              MVP 020-3

              四极控制

              QME 220

              带 SPM 离子源的分析仪

              QMA 220

              探测器

              C-SEM/Faraday

              杆系统:材料

              不锈钢

              杆系统:直径

              6 mm 

              杆系统:长度

              100 mm 

              检测极限(氩中):二氧化碳

              < 100 ppb

              检测极限(氩中):氧气

              < 100 ppb

              检测极限(氩中):氮

              < 100 ppb

              检测极限(氩中):水

              < 3000 ppb

              检测极限(氩中):水蒸气

              < 500 ppb or < 6000 ppb

              涡轮分子泵

              带有 TC 110 RS 的 HiPace 80

              质量数

               

              1-100 amu or 1-200 amu

              过程压力至

              1 hPa or 10 hPa or 8hPa

              连接法兰(入口)

              DN 40 CF-F

              重量

              13 kg 

               

              若您需要进一步的了解详细信息或讨论,请参考以下联络方式:
              上海伯东:叶女士                         台湾伯东:王女士
              T: +86-21-5046-3511 ext 109         T: +886-03-567-9508 ext 161
              F: +86-21-5046-1490                    F: +886-03-567-0049
              M: +86 1391-883-7267                 M: +886-939-653-958
              ec@hakuto-vacuum.cn                  ec@hakuto.com.tw
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