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              KRI 考夫曼离子源 KDC 100
              阅读数: 2945

              KRI 考夫曼离子源 KDC 100

              KRI 考夫曼离子源 KDC 100
              上海伯东代理美国原装进口 KRI 考夫曼离子源 KDC 100 中型规格栅极离子源, 广泛加装在薄膜沉积大批量生产设备中, 考夫曼离子源 KDC 100 采用双阴极灯丝和自对准栅极, 标准配置下离子能量范围 100 至 1200ev, 离子电流可以超过 400 mA.

              KRI 考夫曼离子源 KDC 100 技术参数:

              型号

              KDC 100

              供电

              DC magnetic confinement

               - 阴极灯丝

              2

               - 阳极电压

              0-100V DC

              电子束

              OptiBeam™

               - 栅极

              专用, 自对准

               -栅极直径

              12 cm

              中和器

              灯丝

              电源控制

              KSC 1212

              配置

              -

               - 阴极中和器

              Filament, Sidewinder Filament  或LFN 2000

               - 安装

              移动或快速法兰

               - 高度

              9.25'

               - 直径

              7.6'

               - 离子束

              聚焦
              平行
              散设

               -加工材料

              金属
              电介质
              半导体

               -工艺气体

              惰性
              活性
              混合

               -安装距离

              8-36”

               - 自动控制

              控制4种气体

              * 可选: 可调角度的支架

              KRI 考夫曼离子源 KDC 100 应用领域:
              溅镀和蒸发镀膜 PC
              辅助镀膜(光学镀膜)IBAD
              表面改性, 激活 SM
              离子溅射沉积和多层结构 IBSD
              离子蚀刻 IBE

              其他产品
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