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              射频离子源 RFICP 380
              阅读数: 2377

              射频离子源 RFICP 380

              大口径射频离子源 RFICP 380
              上海伯东美国 KRI 大口径射频离子源 RFICP 380, 3层栅极设计, 栅极口径 38cm, 提供离子动能 100-1200eV 宽束离子束, 套装包含离子源本体和电源控制器.
              大口径射频离子源 RFICP 380-------------- 离子源自动控制器 --------------   -------- 射频离子源 RFICP 380 本体 ----

              射频离子源 RFICP 380 特性
              1. 放电腔 Discharge Chamber, 无需电离灯丝, 通过射频技术提供高密度离子, 工艺时间更长. 2kW & 1.8 MHz, 射频自动匹配
              2. 离子源结构??榛杓?br /> 3. 离子光学, 自对准技术, 准直光束设计, 自动调节技术保障栅极的使用寿命和可重复的工艺运行
              4. 全自动控制器
              5. 离子束动能 100-1200eV

              射频离子源 RFICP 380 技术规格:

              阳极

              电感耦合等离子体
              2kW & 1.8 MHz
              射频自动匹配

              最大阳极功率

              >1kW

              最大离子束流

              > 1000mA

              电压范围

              100-1500V

              离子束动能

              100-1200eV

              气体

              Ar, O2, N2,其他

              流量

              5-50sccm

              压力

              < 0.5mTorr

              离子光学, 自对准

              OptiBeamTM

              离子束栅极

              38cm Φ

              栅极材质

              钼或石墨

              离子束流形状

              平行,聚焦,散射

              中和器

              LFN 2000

              高度

              38.1 cm

              直径

              58.2 cm

              锁紧安装法兰

              12”CF


              射频离子源 RFICP 380 尺寸:
              射频离子源尺寸

              大口径射频离子源典型应用:
              射频离子源安装在 1650 mm 蒸镀机中, 实现离子辅助镀膜 IBAD 及预清洁 Pre-clean, 完成 LED-DBR 镀膜生产
              射频离子源
              在高倍显微镜下检视脱膜测试
              上海伯东RFICP325脱模测试

              --------- 使用其他品牌离子源---     --------------------- 使用美国 KRI 射频离子源 ----------------------

              从上图可以清楚看出, 使用其他品牌离子源, 样品存在崩边的问题; 使用上海伯东美国 KRI 射频离子源, 样品无崩边


              1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.

              若您需要进一步的了解 KRI 射频离子源, 请参考以下联络方式
              上海伯东: 叶小姐                                  台湾伯东: 王小姐
              T: +86-21-5046-3511 ext 109             T: +886-3-567-9508 ext 161
              F: +86-21-5046-1490                          F: +886-3-567-0049
              M: +86 1391-883-7267                       M: +886-939-653-958
              ec@hakuto-vacuum.cn                        ec@hakuto.com.tw
              上海伯东版权所有, 翻拷必究!

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